1、MEMS麦克风芯片检测行业现状
——图片引用(yòng)自麦姆斯咨询报告
2、光场技术原理(lǐ)
简单的说,空间光線(xiàn)的集合就是光场,我们无时无刻不处在光场的包围之中。完整描述光场需要七个参数,光線(xiàn)的位置(x,y,z),方向(θ,Ф),波長(cháng)(λ)和时间(t)。当光场在空气这种透明介质中传播时,可(kě)以通过光線(xiàn)与两个平行平面相交所形成两点的位置,来准确的确定其空间位置。光场相机主透镜和微透镜就相当于两个平行平面,一根線(xiàn)条通过两个透镜的折射后就记录了線(xiàn)的强度,位置和方向信息。
——图片引用(yòng)自 “李浩天等 2018. 基于光场三维重构和PSP的曲面压力测量技术”
VOMMA光场相机采用(yòng)超高分(fēn)辨率的微透镜与CMOS组合,其密集排列的微透镜类似于蜻蜓的复眼,可(kě)以将来自物(wù)體(tǐ)各个方向的光折射到不同的像素,从而记录通过主透镜的所有(yǒu)三维光線(xiàn)。通过后期软件处理(lǐ)对光線(xiàn)进行重新(xīn)追迹,可(kě)以自由改变对焦平面、任意视角切换和三维成像。因此,单台VOMMA光场相机可(kě)实现多(duō)台传统相机环绕拍摄的成像效果,即“单相机、一次拍摄、多(duō)重聚焦、多(duō)重视角、三维测量/建模”。
蜻蜓复眼
VOMMA光场相机剖面图
一次拍摄,多(duō)重聚焦
一次拍摄,多(duō)重视角
3、MEMS麦克风芯片检测难点
目前大部分(fēn)MEMS麦克风芯片金線(xiàn)检测采用(yòng)的是人眼显微镜观测的2D检测方案。2D检测方案能(néng)解决漏焊,漏線(xiàn),并線(xiàn),断線(xiàn)等问题,但针对金線(xiàn)脚起,堕線(xiàn)等问题没有(yǒu)特别好的观测效果,且人眼观测效率低,导致芯片检测的产能(néng)不稳定。
传统芯片金線(xiàn)检测方式
4、奕目解决方案
VOMMA芯片检测项目针对现有(yǒu)检测难点,依靠特有(yǒu)的光场三维成像技术支持,通过光场相机单次拍摄,输出金線(xiàn)的三维轮廓数据,高效准确的判断芯片金線(xiàn)良品情况,提出了能(néng)达到多(duō)视角,全方位的观测效果的检测方案。单次的金線(xiàn)检测耗时仅為(wèi)0.5s,大大提升了芯片检测的速度和准确率。
芯片金線(xiàn)三维轮廓数据
(VOMMA光场相机单次拍摄)
VOMMA光场相机芯片三维检测系统图
5、MEMS麦克风芯片金線(xiàn)检测效果展示
正常金線(xiàn)
漏線(xiàn)--金線(xiàn)缺失
断線(xiàn)--金線(xiàn)断裂
堕線(xiàn)--金線(xiàn)轮廓低于正常高度
脚起--金線(xiàn)轮廓超过正常高度